平板显示 - 气体过滤的解决方案
在微电子的平板显示器制造中,由于其市场竞争激烈,技术创新的多样化,显示器的分辨率逐步上升。
而更高分辨率的显示器意味着更新的制造技术以及更具成本的生产工艺。涉及到环境空气,工艺制程气以及液体制程的污染控制要求比以往更高。
高等级制程需要将越来越小的污染物控制在更微小的浓度水平。在关键工艺步骤中,大面积面板上积累灰尘颗粒的可能性非常高,所以需要的送风量和循环风量很大,来提高空气洁净度,从而控制产品质量。
在平板显示的制造中,空气过滤器的选择主要以高效/超高效作为过滤器的末端过滤,结合中效初效过滤器以保证空气过滤的整体循环。
在产品选择上,主要以大风量高容尘的袋式,无隔板过滤器为主。
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