半导体 - 空气过滤的解决方案
在半导体行业中,其产品的生产制造对着空气洁净有着极高的标准,空气质量的优劣直接影响产品的良品率以及设备的使用寿命。
污染主要来源于空气中的固体颗粒物以及气态分子污染物。
半导体行业的空气过滤主要以化学过滤器吸附气态分子污染物(AMC),
中高效过滤器过滤细小颗粒物,初效过滤器过滤大型颗粒物的同时保障后续设备的使用寿命的一套过滤方案。
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